一，質量流量控制器簡介

質量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 在現代工業(yè)過程中扮演著至關重要的角色。它憑借其高精度、穩(wěn)定性以及在多個行業(yè)中的廣泛應用。與傳統(tǒng)的體積流量控制器不同，MFC直接以氣體的質量為控制對象，這在溫度波動大或氣體種類繁多的環(huán)境下顯得尤為重要。由于氣體的體積會隨溫度和壓力的變化而變化，而質量則保持恒定，因此MFC能夠提供更加穩(wěn)定、準確的流量控制，從而確保生產過程的穩(wěn)定性和產品質量的一致性。MFC的主要功能包括精確流量控制、流量監(jiān)測與顯示以及氣體混合控制。在精確流量控制方面，MFC可根據工藝需求精確設定和調節(jié)氣體或液體的質量流量值，通過內部的控制機構和算法將實際流量穩(wěn)定在設定值，確保流量的準確性和穩(wěn)定性。此外，MFC在小流量控制方面也表現出色，能精確控制如幾毫升每分鐘甚至更小的流量，滿足生物醫(yī)藥、微電子等對微量流體精確控制的需求。同時，MFC還具備實時流量監(jiān)測與顯示功能。它內置流量傳感器實時監(jiān)測流體的質量流量，并將流量數據轉換為電信號供系統(tǒng)實時獲取。此外，MFC通常配備顯示屏直觀顯示實時流量值，方便操作人員查看和記錄，也可通過通信接口將數據傳輸到上位機或控制系統(tǒng)實現遠程監(jiān)測和管理。此外，MFC還廣泛應用于氣體混合控制領域。它能夠精確控制多種氣體的混合比例和質量流量，滿足不同工藝需求。在半導體制造、化學工程、生物醫(yī)藥等多個行業(yè)中，MFC都發(fā)揮著舉足輕重的作用。氣體質量流量單位一般以sccm（Standard CubicCentimeter per Minute，每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為： 氣壓—101325Pa（760mm Hg）; 溫度—0℃ （273。15K）。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。對多數用戶而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量（如g/min），這個要求是很容易實現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個常數， 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現。所以說，在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質量流量。