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微小氣體流量計(jì)的核心原理與技術(shù)分類

更新時(shí)間:2025-08-15點(diǎn)擊次數(shù):250
  微小氣體流量計(jì)核心原理與技術(shù)分類:
 
  微小氣體流量計(jì)通過精準(zhǔn)測(cè)量氣體流動(dòng)特性實(shí)現(xiàn)流量控制,常見技術(shù)原理及特點(diǎn)如下:
 
  熱式質(zhì)量流量計(jì)
 
  原理:基于熱傳導(dǎo)效應(yīng),通過測(cè)量氣體流過加熱元件時(shí)帶走的熱量計(jì)算流量。
 
  特點(diǎn):
 
  結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,安裝便捷,對(duì)小流量敏感(可測(cè)低至幾毫升/分鐘)。
 
  無需溫度壓力補(bǔ)償,但測(cè)量精度受氣體成分和溫度影響。
 
  典型應(yīng)用:實(shí)驗(yàn)室氣體分析、半導(dǎo)體制造中的小流量氣體測(cè)量。
 
  容積式流量計(jì)
 
  原理:通過測(cè)量氣體充滿和排出固定容積的次數(shù)計(jì)算流量。
 
  特點(diǎn):
 
  測(cè)量精度高,不受氣體密度和粘度影響,可測(cè)高粘度氣體。
 
  結(jié)構(gòu)復(fù)雜,體積大,對(duì)氣體清潔度要求高。
 
  典型應(yīng)用:高精度、高粘度微量氣體測(cè)量(如特殊化工氣體計(jì)量)。
 
  紅外氣泡法流量計(jì)
 
  原理:利用氣泡體積與紅外檢測(cè)計(jì)算流量。
 
  特點(diǎn):
 
  適用于連續(xù)或非連續(xù)氣流,具備自研溫度/壓力補(bǔ)償功能。
 
  多通道組合模式,軟件同步記錄數(shù)據(jù),采樣時(shí)間最快每秒1次。
 
  典型應(yīng)用:催化產(chǎn)氫測(cè)試、光催化分解水產(chǎn)氫等場(chǎng)景。
 
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