產(chǎn)品分類
國產(chǎn)氣體流量計自主研發(fā)MFC MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
高精度氣體質(zhì)量流量控制器MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
國產(chǎn)替代熱式氣體質(zhì)量流量計MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
國產(chǎn)替代熱式氣體質(zhì)量流量計我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器(以下簡稱 MFC330),主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精確測量和控制。
國產(chǎn)替代自主研發(fā)微小氣體流量計MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,其結(jié)構(gòu)包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。
自主研發(fā)氣體質(zhì)量流量計流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產(chǎn)生的溫度場變化 來測量氣體質(zhì)量流量,通過電橋?qū)囟葓龅淖兓D(zhuǎn)化為電信號并經(jīng)過電 路放大、濾波處理,處理后的信號采集進處理器芯片,再通過氣體流量 外標(biāo)法和溫壓補償?shù)玫綔?zhǔn)確的真實氣體流量值。
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