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小流量氣體流量計
產品簡介:

小流量氣體流量計我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質量流量控制器(以下簡稱 MFC330),
主要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制。采用優(yōu)質的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面,使氣體流量控 制更加精準、穩(wěn)定和簡便,內置溫度和壓力傳感器,采集氣路溫度、壓力值 外,進一步對氣體流量控制進行溫壓補償

產品型號:MFC330

更新時間:2025-06-13

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :181

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我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質量流量控制器(以下簡稱 MFC330),

主要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制。采用優(yōu)質的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面,使氣體流量控 制更加精準、穩(wěn)定和簡便,內置溫度和壓力傳感器,采集氣路溫度、壓力值 外,進一步對氣體流量控制進行溫壓補償;支持多種通訊協(xié)議,可以方便高 效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機等進行通訊;具有多氣體測量,高  精度,高穩(wěn)定性,極低零漂等特性。

MFC330在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工

業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型 的應用場合包括:  電子工藝設備,  如擴散、氧化、外延、 CVD、等離子刻

蝕、濺射、離子注入;  以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系 統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

 小流量氣體流量計

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