MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應快速調節(jié)氣體流量至設定值。測量與調節(jié)流量的閉環(huán)結構，即使環(huán)境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

主要參數(shù)

介質要求  潔凈干燥氣體

氣體種類 98+氣體可選

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準確度  ±1% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應時間  <3 秒

預熱時間  5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門  常閉式

蘇州愛拓利是國內極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企業(yè)。其產品的核心部件毛細管柱式傳感器和高精度微型氣體比例閥均已實現(xiàn)國產化、自研自制率100%、全制程自主可控，其性能趕超進口同類產品。愛拓利目前已為多家重點大學實驗室、科研院所、精密分析儀器廠家、生物制藥廠家及、環(huán)保設備及光電設備廠商提供流量計/控制器的軟硬件配套產品。通過廣泛的應用，愛拓利流量計產品的先進性、重復性和穩(wěn)定性得到了充分的驗證。愛拓利的愿景是成為一家在流體測控領域具有影響力的創(chuàng)新型企業(yè)。我們專注于擁有自主知識產權、純國產化的核心零部件的開發(fā)，以期打破進口產品的技術壟斷，擺脫對進口品牌的依賴，大力提升先進制程和科學儀器中國產化替代水平和應用規(guī)模，致力于早日打造出高品質且性能可靠的流體測控產品，為解決我國基礎科學及先進制程領域所面臨的“卡脖子"困境貢獻一份綿薄之力。