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熱式氣體流量計-平替進口同類產(chǎn)品MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

自主研發(fā)平替進口氣體質量流量控制器MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

國產(chǎn)替代自主研發(fā)氣體質量流量計其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

自主研發(fā)氣體質量流量控制器我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質量流量控制器（以下簡稱 MFC330），主要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制。

平臺Alicat氣體質量流量計MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

國產(chǎn)替代高精度氣體流量控制器我公司自主研發(fā)的 MFC330 氣體質量流量控制器（以下簡稱 MFC330），主要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制。采用優(yōu)質的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準、穩(wěn)定和簡便，內置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值 外，進一步對氣體流量控制進行溫壓補償